Đề xuất nhiệt độ thích hợp cho quá trình chế tạo màng ZnO từ tiền chất kẽm axetyl axetonat bằng phương pháp CVD

Phức chất tạo bởi kẽm và axetylaxeton có khả năng thăng hoa tốt có thể được sử dụng làm tiền chất để chế tạo màng mỏng ZnO. Màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp XRD, SEM, phổ huỳnh quang, phổ UV – vis, đo độ dày và hình thái học để tìm ra nhiệt độ tối ưu cho quá trình chế tạo màng mỏng.

Từ khóa: Năng lượng tái tạo, Chế tạo màng mỏng ZnO, Phương pháp XRD, Phổ huỳnh quang, Phổ UV – vis