Nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ ủ lên cấu trúc và cơ tính của vật liệu Si3N4 bằng phương pháp mô phỏng

Mô phỏng động lực học phân tử được sử dụng để nghiên cứu vi cấu trúc và cơ tính của Si3N4 vô định hình (VĐH) khi nhiệt độ thay đổi từ 300 K đến 900 K tại các mật độ ρ1= 2,4 g.cm-3 , ρ2= 2,8 g.cm-3 và ρ3= 3,1 g.cm-3 . Cấu trúc vi mô của các mẫu mô phỏng được phân tích thông qua hàm phân bố xuyên tâm, số phối trí, phân bố góc và phân bố lỗ hổng.

Từ khóa: Mô phỏng động lực học phân tử, Si3N4 vô định hình, Góc liên kết, Số phối trí, Quá trình biến dạng đơn trục